一种基于金属扩散流的扫描探针、微纳米加工设备和方法，该扫描探针包括直径为几十微米以下的探针前端，所述探针前端经过表面修饰而形成浸润涂层和/或合金化诱导层，其中，所述浸润涂层用以增强金属对探针表面的浸润性，所述合金化诱导层用以促进金属与探针表面的合金化反应，从而促进金属在所述探针前端的流动；其中，在电偏压作用下，所述扫描探针吸取的所述金属在所述探针前端的表面形成定向流动的金属扩散流。本发明使得金属可以沿探针、纤维或纳米管等表面，作为扩散流在电偏压操控下流动实现微纳米尺度打印或加工。本发明对金属的打印精度可以达到纳米到原子级，且在原子尺度的制造相对STM具有更高的制备效率。